上海精积微收获明场检测设备订单 将于今年10月出机

上海精积微半导体于本周斩获两台明场检测BFI100型设备订单，该型号设备主要用于65nm-180nm的半导体产线制程监控。首台设备预计今年10月出机，将改善明场检测设备短缺问题。

明场检测设备一般用于有图形晶圆的缺陷检测，技术难度接近光刻机。作为半导体前道检测必备的主设备，明场检测的核心技术一直被国外几家公司垄断，此次BFI100作为国内首个量产型号的明场检测设备，将助力我国半导体装备产业发展。

公开资料显示，上海精积微半导体是精测电子合并报表范围内公司。精测电子主要从事显示、半导体、新能源检测系统的研发、生产与销售。3月9日，精测电子控股子公司常州精测与中创新航签署《战略合作伙伴协议》，双方将携手就锂电设备领域及相应服务开展深度合作

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

关键词： BFI100 65nm 180nm