迫于美国压力开始延迟向中芯发货?光刻巨头ASML回应

荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)近日宣布，或将推迟向中国半导体制造商交付极紫外光光刻机(EUV)。该公司发言人表示，此决定是因为出口许可证到期，目前正在向荷兰政府申请新的许可证。

作为极紫外光刻芯片工具(EUV)的全球唯一供应商，延迟发货将对中国芯片制造造成重击。而此次受到影响的中国公司，疑为中芯国际(SMIC)。

日经新闻援引消息人士的话称，ASML成为美国政府的“牺牲品”，“延迟发货”的一大原因来自于美国政府的压力。

对此，ASML在7日回应，指出公司正在申请许可证，但日经新闻所述“延迟出货”仅为其媒体推测，ASML对此事从未评论或确认。

中芯国际也就此事回应称，公司的EUV还处于“纸面工作”阶段，尚未进行相关活动。中芯国际强调，目前，公司的先进工艺研发进展顺利，研发与生产的连接一切正常，客户与设备导入均正常运作。

极紫外光光刻机(EUV)，图自ASML官网

日媒：受到美国政府的压力

据路透社6日报道，该公司发言人莫尼克·莫尔斯(Monique Mols)表示，根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准，预计将耗资1亿欧元(约7.7亿元人民币)。

他说：“ASML只是在遵守法律。法律规定，出口装运EUV需要出口许可证。现在我们已经重新申请。”

《日经新闻亚洲评论》则在6日的报道称，ASML此次推迟发货并不仅仅是许可证问题，而是受到来自美国政府的压力。

“因美国压力决定延迟发货”，日经新闻报道

报道援引消息人士称，ASML暂时决定推迟EUV设备的交付，“是因为它不想让美国政府对此感到不安”，因为EUV是目前最先进的芯片光刻机。

他补充道：“但与此同时，考虑到中国是现如今增长最快的芯片市场，ASML也不想让中国及其中国客户对此失望不满。”

据日经新闻数据，ASML公司92亿美元(约644亿元人民币)的2018年年度销售额中，约有16%来自英特尔和美光等美国公司。另外，ASML制造机器所需的零部件，有五分之一是在美国工厂生产的。

而中国市场对于ASML也变得日渐重要：2018年，该公司19%的销售额来自中国。

该知情人士表示，原计划在2019年底交付给中国公司的EUV光刻机，将预计延迟至2020年年中。

被延迟发货的中国厂商疑为中芯

据日经新闻报道，作为中国首家订购EUV的中国芯片制造商，中芯国际被认为是此次受影响的订购商。尽管据路透社报道，ASML尚未就此事做出证实。

目前，业内已达成共识，必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm，甚至5nm时代。

去年5月，中国最大的芯片制造公司中芯国际向荷兰ASML订购了首台EUV光刻机，价值1.2亿美元，几乎相当于该司2017年全部净利润。光刻机原计划于2019年年初交付。

而在去年12月，临近交货时间，ASML突发大火。根据官网信息，火灾摧毁元件供应商Prodrive工厂的部分库存、生产线，因此，2019年年初供货情况预计将会递延。

2019年已经临近尾声，EUV仍未交付至中芯，并再次面临“延迟通知”的风险。而ASML将此归因于出口许可证到期。

2018年12月，ASML一供应商工厂发生火灾，图自荷兰媒体

ASML回应：“延迟出货”仅为其媒体推测

ASML于7日向《科创板日报》澄清称，关于日经新闻有关中芯国际相关报道有误，“延迟出货”仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。ASML强调，对全球客户一视同仁。

ASML最新回应，微博@财联社APP 截图

7日下午，中芯国际也就此事向《上海证券报》回应称，公司的EUV还处于“纸面工作”阶段，尚未进行相关活动。中芯国际强调，目前，公司的先进工艺研发进展顺利，研发与生产的连接一切正常，客户与设备导入均正常运作。

光刻机是半导体制造领域的核心设备之一，ASML公司则是这个行业内的领军企业。尤其EUV光刻机上，ASML处于“垄断”地位——这家公司是全球唯一能生产EUV的企业。

EUV光刻机作为现今最先进的芯片制造设备，是唯一能够生产7nm以下制程的设备，因此，其也被称为“突破摩尔定律的救星”。